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A.Carnera Scienza delle Superfici (Mod. B) 2005 1

Spettroscopie

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A.Carnera Scienza delle Superfici (Mod. B) 2005 2

Lo spettro elettromagnetico

γ

X

UV

IR

microonde

onderadio

visibile

103

105

107

109

1011

1013

1015

1017

1019

1021

1023

ν (1 / s)

1016

1014

1012

1010

108

106

102

1

10-2

10-4

104

λ(Å )

10-12

10-10

10-8

10-6

10-4

10-2

1

102

104

106

108

E(eV )

E =hν

h =6.626 ×10−34 J ⋅s=4.1357 ×10−15 eV ⋅s

Relazione di Planck

ν =

c

λ c =3 ×10 8 m/ s

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Lo spettro elettromagnetico

γ

X

UV

IR

microonde

onderadio

visibile

103

105

107

109

1011

1013

1015

1017

1019

1021

1023

ν (1 / s)

1016

1014

1012

1010

108

106

102

1

10-2

10-4

104

λ(Å )

10-12

10-10

10-8

10-6

10-4

10-2

1

102

104

106

108

E(eV )

-Transizioni magnetiche nucleari

-Risonanze magnetiche di spin-Spettroscopie rotazionali

-Spettroscopie rotovibrazionali

Spettroscopie molecolari

-Spettroscopie delle bande molecolari:transizioni elettroniche + transizioni rotazionali evibrazionali

-Spettroscopie atomiche

-Spettroscopie nucleari

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Rilevanza dei fenomeni termici

γ

X

UV

IR

microonde

onderadio

visibile

103

105

107

109

1011

1013

1015

1017

1019

1021

1023

ν (1 / s)

1016

1014

1012

1010

108

106

102

1

10-2

10-4

104

λ(Å )

10-12

10-10

10-8

10-6

10-4

10-2

1

102

104

106

108

E(eV )

1012

1010

108

106

104

100

1

10-2

10-4

10-6

10-8

T (K)

E =k

BT

kB=1.381×10−23 J / K

=8.617 ×10−5 eV / K

kBT

amb=8.617 ×10−5 ×300

=26.8 ×10−3 eV

Energia media di unoscillatore armonicoclassico

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Interazione radiazione-materia

Ef

Ei

E

Radiazione incidente

Ef

Ei

E < Ef-Ei E

Mezzo “trasparente”

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Processi di eccitazione

Ef

Ei

E

Radiazione incidente

Ef

Ei

E Ef-Ei

Eccitazione risonante

-6 -4 -2 2 4 6

0.2

0.4

0.6

0.8

1

δE

h=2π

t

δE / h

δE =E −(E

f−E

i)

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Emissione

Ef

Ei

Stato eccitato

Ef

Ei

hν ≈E

f−E

i

Emissione

-6 -4 -2 2 4 6

0.2

0.4

0.6

0.8

1

δE

h=2π

t

δE / h

δE =E −(E

f−E

i)

ΔE

2≈h

2πΔt / 2 ΔE Δt ≈2π h

Principio di indeterminazione

Δt : vita media dello stato eccitato

Δt piccolo : fluorescenza Δt grande : fosforescenza

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Emissione stimolata

Ef

Ei

Inversione di popolazione

Effetto della “pompa”

Ef

Ei

hν ≈E

f−E

i

Emissione stimolata

hν ≈E

f−E

i

Effetto “LASER”

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Schema dei termini dell’ atomo di H

E (cm-1

)

109679

100000

90000

80000

0 0

10

11

12

13

13.6

eV2S 2P 2D 2F 2G

1s

2s

3s

4s

5s

2p

3p

4p

5p

3d

4d

5d

4f

5f 5g

1216

1026

972

6563

6563

18571

12818 40500

Lyman (UV)

n=1

n=2

n=3n=4n=5

Balmer (visibile)Paschen (IR)

Brackett (IR)

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Spettro di emissione di raggi X dal Pb

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Livelli energetici degli elettroni nei solidi

Banda diconduzione

Elettroniliberi

EF

EF+W

K

L1

L2

L3 2p3/22p1/2

2s

1s

Banda divalenza

Livelliatomici

Metalli

W: funzione lavoroEF: energia di Fermi

K

L1

L2

L3 2p3/22p1/2

2s

1s

Eg>>kB

T

Isolanti

EF

EgkBT

K

L1

L2

L3 2p3/22p1/2

2s

1s

Semiconduttori

EF

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L’ effetto fotoelettrico

-V 0

luceincidente

elettronifotocatodocollettore

Ek

max =V e ⇒ V =h

νe−

W

e

E

k

max =hν −W W: funzione lavoro (lavoro di estrazione)

Relazione di Einstein

EF

EF+W

K

L1

L2L3 2p3/2

2p1/22s

1s

Ek

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Assorbimento e emissione di raggi X

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Assorbimento: perdita di energia di elettroni

I

VA

VG

- +

+ -

Catodo

Gas a bassa pressione

Anodo

GG

Esperimentodi Franck e Hertz

ElectronEnergyLossSpectroscopy(EELS)

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Eccitazione (fotoemissione) e ricombinazione

K

L1

L2

L3

hv

Ricombinazioneradiativa

hω =ΔE

B

K

L1

L2

L3

e-

Emissione Auger

E

αβγZ ≈(E

αZ −E

βZ ) −E

γZ

Effetto fotoelettrico

E

k=hω −E

B

K

L1

L2

L3

e-

2p3/22p1/2

2s

1s

Ionizzazione

hv

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Segnali rivelati e spettroscopie

Fotoelettrone E

k=hω −E

B

Fotoni X hω =ΔE

B

Elettroni Auger E

αβγZ =(E

αZ −E

βZ ) −E

γZ

XPS : X-ray Photoemission Spectroscopy

XRF: X-ray Fluorescence

EPMA: Electron Probe Micro Analysis

AES: Auger Electron Spectroscopy

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Schema delle energie nella rivelazione di fotoelettroni

hν +E

tot

i =Ek+E

tot

f

E

k+W

spect+E

B

F =hν

E

B

F =hν −Ek−W

spect

e-Campione Spettrometro

Livello di vuoto

Livello di vuoto

Livello di Fermi Livello di Fermi

Ek1

Ek

k

Ws

Wspect Wspect- Ws

Campione Spettrometro

EBF

E

k=hν −(E

tot

f −Etot

i )

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Fotoemissione e assorboimento di raggi X

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Corrispondenza fra emissione e assorbimento

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Cammino libero medio degli elettroni

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Lo spettrometro XPS

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Spettro XPS (survey)

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Energie di legame

E

B=hν −E

k−W

spect

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Effetti della non monocromaticità del fascio X

Le righe K dell’ Al

E

B

F =hν −Ek−W

spect

δE

B

F =hδν + δEk

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Deconvoluzione del picco 1s del C

Spettrometro XPS ad alta risoluzione

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Gli shift chimici

E

k=hν −(E

tot

f −Etot

i )

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Shift chimici della riga C 1s

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Due diversi processi di decadimento sono possibili

K

L1

L2

L3

hv

Ricombinazioneradiativa

hω =ΔE

B

K

L1

L2

L3

e-

Emissione Auger

E

αβγZ ≈(E

αZ −E

βZ ) −E

γZ

Effetto fotoelettrico

E

k=hω −E

B

K

L1

L2

L3

e-

2p3/22p1/2

2s

1s

Ionizzazione

hv

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Transizioni Auger

E

αβγZ ≈(E

αZ −E

βZ ) −E

γZ

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Le interazioni degli elettroni con la materia

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Volumi di emissione e profondità di informazione

d

e-beam

E=0

E = Eth

R ≈ µm

a ≈ 20Å

d ≈ 10 nm

Volume di emissione di secondari

Volume di emissione di AEgenerati dai retrodiffusi

Volume di emissione di AEgenerati dai primari

Volume di emissione X di fluorescenza

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Determinazione della profondità di fuga

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Lo spettrometro AES e gli spettri di elettroni

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Lo spettrometro AES

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A.Carnera Scienza delle Superfici (Mod. B) 2005 35

La riga KLL del Mg

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A.Carnera Scienza delle Superfici (Mod. B) 2005 36

Profili di concentrazione in AES

15 keV Cs, O, Ar

Processo di erosione per "sputtering"Processo di erosione per "sputtering"

fascio ionico

ioni "sputterati"

SIMSSIMS

fascio di elettroni

elettroni Auger

AESAES