Seminario IMM 16 Aprile 2009

Sviluppo di circuiti elettronici per alte temperature integrati con sensori fisici MEMS su 3C-SiC

cresciuto su Si

Presentato come progetto IDEAS e FIRB 2009

Seminario IMM 16 Aprile 2009

BANDO FIRB- PROGRAMMA “FUTURO IN RICERCA”

Due unità di ricerca:

• CNR-IMM-Bologna Realizzazione e caratterizzazione dispositivi

Mariaconcetta Canino ( dottore di ricerca <32)

•DIEI- UNIPG- Perugia Progettazione circuitale Lucia Bissi ( dottore di ricerca <32)

Seminario IMM 16 Aprile 2009

Obiettivo

• L'obiettivo del progetto è lo sviluppo di una tecnologia per fabbricare un elettronica per alte temperature su carburo di silicio (SiC) cubico (3C) cresciuto su silicio, in modo da realizzare una classe di sensori ed attuatori microelettromeccanici (MEMS) operanti fino a 500 °C con elettronica integrate sul chip.

Seminario IMM 16 Aprile 2009

Obiettivo finale

Seminario IMM 16 Aprile 2009

Innovazioni principali - Lo sviluppo di circuiti a logica nMOS in 3C-SiC- Lo sviluppo di dispositivi e circuiti elettronici

operanti a 500°C, che possono essere posti in prossimità del sensore, limitando gli effetti parassiti e garantendo prestazioni migliori

- Lo sviluppo di un prototipo di un sensore di deformazione operante fino a 500°C compatibile con il processo di realizzazione dell'elettronica, che aprirà la strada alla realizzazione di una classe di sensori e attuatori MEMS operanti a 500°C

- Lo sviluppo di un nuovo modo di testare i sensori e i MOSFET fino a 500°C basato sulla fabbricazione di hotplate a basso consumo di potenza

Seminario IMM 16 Aprile 2009

Costo del progetto e contributo MIUR

MIUR IMM TOT

Costo delle attività di ricerca

462.350 € 198.150 € 660.50 €

Costo dei contratti

139.500 € 139.500 €

Costo complessivo

601.850 € 198.150 € 800.000€

Costo totale del progetto: 1.284.000 € (982.000 € dal MIUR e x contratti art. 15)

Seminario IMM 16 Aprile 2009

Personale e reparti

Reparti coinvolti: tecnologico e elettronica

Persone coinvolte: Francesco Moscatelli e Antonella Poggi a tempo pieno

Sandro Solmi, Alberto Roncaglia a tempo parziale

Tecnologia: 4 processi