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Elettronica di front-end per rivelatori di radiazione Attività di ricerca e proposte per lo svolgimento della tesi di laurea specialistica presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

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Elettronica di front-end per rivelatori di radiazione

Attività di ricerca e proposte per lo svolgimento della tesi di laurea specialistica

presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

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2Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Gruppo di ricerca

Prof. Valeria Speziali, capo del gruppo di Strumentazione Elettronica

Stretta collaborazione con gruppo del prof. Valerio Re dell’Università di Bergamo (Massimo Manghisoni, Gianluca Traversi)

Lodovico Ratti, responsabile del Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Tre dottorandi attualmente impegnati in attività di ricerca presso il nostro gruppo

Durata media dell’attività di tesi: 6 mesi

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3Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Collaborazioni con enti nazionali ed internazionali

Fermi National Accelerator Laboratory, Batavia, USA

European Center for Nuclear Research (CERN),

Geneva, Switzerland

Stanford Linear Accelerator Center, Stanford, USA

Istituto Nazionale di Fisica Nucleare

Lawrence Berkeley National Laboratory,

Berkeley, USA

Brookheaven National Laboratory, Upton, USA

STMicroelectronics

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4Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Linee di ricerca

L’attività del gruppo di Strumentazione Elettronica è incentrata sullo sviluppo di elettronica di lettura a basso rumore per rivelatori di radiazione, con impiego prevalente nella fisica delle alte energie (HEP)Le ricadute di questa attività interessano molteplici settori:

strumentazione per radioterapia e radiodiagnostica in medicina

astronomia (spaziale e terrestre) in varie regioni dello spettro

radiografia industriale

homeland security

elettronica per satelliti in orbita terrestre e per l’esplorazione dello spazio analisi delle opere d’arte

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5Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Caratterizzazione di dispositivi e circuiti realizzati con tecnologie innovative

Studio degli effetti delle radiazioni su dispositivi e circuiti

Caratterizzazione di tecnologie CMOS submicrometriche (Lmin=130 nm, 90 nm, 65 nm)

Test di dispositivi appartenenti a processi produttivi CMOS su strato isolante (silicon on insulator, SOI, Lmin=180 nm)

Sviluppo di strumentazione per misure di rumore di elevata precisione su un esteso intervallo di frequenze

Progetto di elettronica di lettura in tecnologia integrata per rivelatori di radiazione ad elevata risoluzione spaziale

Sviluppo di sensori monolitici a pixel attivi (MAPS) in tecnologia CMOS deep submicron per applicazioni a minimo ingombro e bassa dissipazione di potenza

Linee di ricerca (cont’d)

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6Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Rivelatori di particelle o di radiazione

Nella fisica delle alte energie, un rivelatore di radiazione serve a ricostruire il percorso e/o identificare la natura delle particelle prodotte da decadimento nucleare, dalla radiazione cosmica o in un acceleratore di particelle Diversi rivelatori di radiazione sono assemblati in apparati di una certa complessità (anch’essi chiamati rivelatori in senso lato), alla cui costruzione contribuisce generalmente una molteplicità di gruppi

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7Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Esempio: rivelatore per l’esperimento CMS (LHC)

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8Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Canali di lettura per rivelatori di radiazione

Qin CD

Cf

Gf

- Formatore

Preamplificatore

Rivelatore

Blocchi di conversione A/D ed eleaborazione digitale

Sezione analogica

La misura dell’energia rilasciata da una particella in un rivelatore di radiazione implica la misura della carica rilasciata da una sorgente di tipo capacitivo con la massima accuratezza compatibile con il rumore del sistema di amplificazione

Il tipo di tecnologia utilizzato per la realizzazione dell’elettronica dipende dal tipo di rivelatore

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9Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Sensori monolitici a pixel attivi (MAPS) CMOS

Sviluppati come rivelatori di immagine nella regione dello spettro visibile (videocamere CMOS)

Integrano sul medesimo substrato rivelatore ed elettronica di lettura ( sensori monolitici)Sono caratterizzati da una regione sensibile molto sottile (~10 μm)

Se assottigliati, possono essere utilizzati come rivelatori a basso ingombro ( ridotta interazione con le particelle, elevata risoluzione nella ricostruzione delle traiettorie)

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10Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

MAPS in deep N-well (DNW) per esperimenti di HEP

NMOS

La deep N-well è usata come elettrodo di raccoltaUn canale di lettura più complesso del semplice schema a 3 NMOS (3T) può essere utilizzato per l’elaborazione del segnale

NMOS della sezione analogica realizzati all’interno della deep N-well

La realizzazione di un elettrodo di raccolta di grandi dimensioni consente di utilizzare anche dispositivi PMOS nel disegno dell’elettronica di front-end migliori prestazioni e più elevata densità di funzioni integrata vicino al sensore

P-epitaxial layer

Standard N-well

P-substrate

Buried N-type layer

Deep N-well

+++

---

+

+

--

-

-

++

NMOS (analog)PMOS

(analog)PMOS (digital)

P-well

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11Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

PMOSPMOSNMOS P-well

Preamplificatore ad elevata sensibilità di caricaFormatore RC-CR con tempi di picco programmabili (0.5, 1 e 2 μs)Comparatore seguito da latch

Due strutture di test già realizzate in tecnologia CMOS deep submicron con Lmin=130 nm (STMicroelectronics)

Preamplifier Shaper Discriminator Latch

Gm

A(s)

b0

b0

b1

b1

+

CF

C1

C2

Vt

RST

VF

~43 m

~4

3

m

Il test sui primi due prototipi ha già consentito di verificare la capacità del sensore di raccogliere la carica rilasciata nel substrato e la capacità dell’elettronica di effettuare una elaborazione del segnale a basso rumore

Prototipi di MAPS DNW già disponibili (Apsel)

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12Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Circuiti in fase di produzione (serie Apsel)

Circuiti di test in tecnologia CMOS con lunghezza minima di canale pari a 130 nm

Circuiti di test in tecnologia CMOS con lunghezza minima di canale pari a 90 nm

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13Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Circuiti in fase di produzione (serie SDR)

25

m

25 m

Circuito a segnali misti, analogici e digitali, in tecnologia CMOS con Lmin=130 nm

Time stamp register

•Preamplifier

•Discriminator

DNW sensor

Sparsification logic•Token passing core

•Hit-latch

•Bus control FF

•Nand gate

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14Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

X=1 X=16

Y=1

Y=2

Y=16

X=2Time Stamp

Buffer 1

Time Stamp

Buffer 2

Time Stamp

Buffer 16

Cell (1,1)

Cell (1,2)

Cell (1,16)

Cell (2,1)

Cell (2,2)

Cell (2,16)

Cell (16,1)

Cell (16,2)

Cell (16,16)

5 5 5

5554 4 4

4

4

4

4

45

MUX

Last token out

First token in

X

Y

T

Tkin Tkout

1 1 1

TkoutTkin

Tkin Tkout TkinTkout

TkoutTkin TkoutTkin

TkoutTkin TkoutTkin TkoutTkin

TS TS TS

1

1

1

Serial data output

gXb

gYb

TS TS TS

TS TS TS

Readout CK

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

Cell CK

gXb=get_X_bus

gYb=get_Y_bus

TS=Time_Stamp

Tkin=token_in

Tkout=Token_out

Schema di readout digitale (SDR0)

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15Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Possibili argomenti di tesi su MAPS CMOS

Caratterizzazione di pixel monolitici attivi in tecnologia CMOS da 130 nm (serie Apsel e SDR)

Caratterizzazione di pixel monolitici attivi in tecnologia CMOS da 90 nm (serie Apsel)

Allestimento di setup per la caratterizzazione di rivelatori con laser infrarosso

Simulazione a livello fisico di sensori MAPS con software ISE-TCAD e/o con l’applicazione di algoritmi Monte Carlo per l’ottimizzazione geometrica del sensore (in 2D e 3D)

Progetto di pixel monolitici in tecnologia CMOS deep submicron (130 nm, 90 nm)

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16Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Caratterizzazione di dispositivi e circuiti realizzati con tecnologie innovative

Interesse legato alle particolari prestazioni di rumore e resistenza alle radiazioni richieste all’elettronica di front-end per rivelatori di particelle

Nel caso delle tecnologie CMOS, dato il rapido avvicendarsi delle generazioni di processi produttivi e l’altrettanto rapida obsolescenza delle vecchie generazioni, è opportuno tenere sotto controllo l’evoluzione dei parametri di maggior interesse

Nonostante l’interesse sia rivolto principalmente al campo dei circuiti di lettura per rivelatori di radiazione, i risultati di questa attività hanno validità ed utilità più generale e trovano applicazione in diversi campi dell’elettronica

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17Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Tecnologie bulk CMOS deep submicron

Transistori singoli in tecnologia CMOS HCMOS9 (Lmin=130 nm) e CMOS090 (Lmin=90 nm) prodotti da STMicroelectronics sono attualmente in fase di caratterizzazione

Caratteristiche della tecnologia– VDD = 1.2 V– tOX= 2 nm– COX=15 fF/μm2

Geometrie disponibili– W = 200, 600, 1000 μm– L = 0.13 - 1 μm

HCMOS9 CMOS090

La tecnologia CMOS065 (Lmin=65 nm) è già accessibile attraverso multiproject wafer per la realizzazione di prototipi

Caratteristiche della tecnologia– VDD = 1 V– tOX= 1.6 nm– COX=18 fF/μm2

Geometrie disponibili– W = 100, 200, 600, 1000 μm– L = 0.1 – 0.7 μm

Un aspetto interessante è costituito dall’analisi teorica e sperimentale della corrente di gate, non più trascurabile quando l’ossido di gate è così sottile

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18Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

10-10

10-8

10-6

10-4

10-2

100

102

104

0 0.2 0.4 0.6 0.8 1

130 nm technology

Gat

e C

urr

ent

Den

sity

[A

/cm

2]

Gate-to-Source Voltage [V]

NMOS @ VDS

=VBS

=0

90 nm technology tox = 16 A

tox = 20 A

Esempi di misura di corrente di gate

La corrente di gate varia con lo spessore dell’ossido di gate la corrente di gate è circa 3 ordini di grandezza maggiore nella tecnologia CMOS da 90 nm rispetto aa quella da 130 nm

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19Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Tecnologie CMOS silicon on insulator (SOI)

Inverter in bulk CMOS

Inverter in CMOS SOI

Le tecnologie CMOS SOI offrono alcuni vantaggi rispetto alle tecnologie CMOS bulk

Riduzione delle capacità parassite verso il substrato

Maggiore velocità operativa

Riduzione della potenza dissipata

Più elevata densità di integrazione

Maggiore resistenza a certi tipi di danno da radiazione (Single Event Upset, SEU)

Tecnologia CMOS SOI con Lmin=180 nm prodotta dai Lincoln Labs del MIT (MITLL 0.18 μm)

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20Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Tecnologie CMOS SOI per sensori 3D

La tecnologia MITLL 0.18 μm viene utilizzata nella realizzazione di sensori monolitici 3D

3D Routing (small chip)2D Routing (large chip)

Opto Electronics

and/or Voltage Regulation

Digital Layer

Analog Layer

Sensor Layer

50 um

Power In

Optical In Optical OutIn genere un chip 3D include 2 o più strati di dispositivi a semiconduttore opportunamente assottigliati, uniti a formare un dispositivo monolitico (tramite tecniche di wafer bonding) e interconnessi tra loro mediante via metallici

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21Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Strumentazione per misure di rumore

Circuito dipolarizzazione di

gate e drain

Amplificatorea transimpedenza a basso rumore

Stadio di guadagno

SD.U.T.

Circuito di polarizzazione del bulk/well

Analizzatore di spettro

RF

Larga banda (>100 MHz)

Rumore elettronico estremamente basso

La misura del rumore elettronico nei dispositivi CMOS richiede la realizzazione di circuiti di interfaccia (tra dispositivo ed analizzatore di spettro)

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22Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

0.1

1

10

100

103 104 105 106 107

Id=0.10 mAId=0.25 mAId=1.00 mA

No

ise

Vo

lta

ge

Sp

ectr

um

[n

V/H

z1/

2 ]

Frequency [Hz]

STM 90 nm

NMOSW/L=600/0.2V

DS=600 mV

0.1

1

10

100

103 104 105 106 107 108

Id=0.10 mAId=0.25 mAId=1.00 mA

No

ise

Vo

lta

ge

Sp

ect

rum

[n

V/H

z1/2 ]

Frequency [Hz]

STM 130 nm

NMOSW/L=1000/0.35V

DS=600 mV

Esempi di misure di densità spettrale di rumore

La banda del circuito di interfaccia deve essere tale da consentire di distinguere il contributo bianco (indipendente dalla frequenza) dal contributo di tipo 1/f

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23Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Lo studio del danno da radiazione riveste un duplice interesse

Determinazione dei limiti di tolleranza alle radiazioni dei circuiti elettronici

Studio di meccanismi fisici fondamentali attraverso l’analisi del danno da radiazione in dispositivi elettronici

La radiazione (raggi γ ed X, particelle cariche, ioni) può determinare guasti più o meno gravi nei circuiti elettronici

In circuiti digitali può produrre guasti temporanei o permanenti

Nei circuiti analogici, l’aumento del rumore elettronico può causare una riduzione della sensibilità, fino a rendere il sistema inutilizzabile

Studio della resistenza alle radiazioniin dispositivi e circuiti elettronici

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24Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Resistenza alle radiazioni in dispositivi CMOS

Nei dispositivi CMOS l’effetto principale della radiazione ionizzante consiste nella generazione di carica all’interno dell’ossido di silicio (ossido di gate, ossido di campo, shallow trench isolation) e/o all’interfaccia Si/SiO2L’esposizione a radiazione ionizzante può dunque comportare variazione della tensione di soglia, aumento delle correnti di leakage ed aumento del rumore elettronico

Può essere interessante verificare che la tolleranza alle radiazioni è maggiore nelle generazioni CMOS più recenti a causa della riduzione dello spessore dell’ossido di gate

G

DS

+++++++ G

D

STI

+++++++++

+++++++++

STI

S

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25Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Possibili argomenti di tesi relativi a caratterizzazione

di tecnologie CMOS bulk e CMOS SOI

Studio teorico e sperimentale delle caratteristiche di rumore in dispositivi CMOS con lunghezza minima di canale pari a 90 e 65 nm

Realizzazione di strutture di test in tecnologia CMOS da 90 e 65 nm per lo studio delle proprietà di rumore e delle tecniche di hardening by design (i.e. enclosed layout transistors, ELT)

Caratterizzazione sotto il profilo del rumore e della resistenza alle radiazioni di dispositivi CMOS SOI con lunghezza minima di canale da 180 nm

Studio della resistenza alle radiazioni di dispositivi CMOS con lunghezza minima di canale pari a 90 nm e 65 nm

Sviluppo di circuiti di interfaccia a larga banda per misure di rumore su dispositivi elettronici

Analisi teorica e sperimentale della corrente di gate e del rumore nella medesima corrente in tecnologie con lunghezza minima di canale pari a 130, 90 e 65 nm

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26Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

progetto di circuiti analogici a basso rumore elettronico

uso degli strumenti software più diffusi per la simulazione ed il progetto di circuiti elettronici

caratteristiche delle tecnologie CMOS bulk di più recente introduzione e di altre tecnologie innovative (e.g. CMOS SOI)

comportamento dei dispositivi elettronici, anche a livello fisico, approfondito a livello sia teorico, sia sperimentale

uso di strumentazione di laboratorio avanzata

Quali opportunità offre una tesi presso ilLaboratorio di Strumentazione Elettronica

L’attività di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica può coprire gli aspetti teorici e/o sperimentali degli argomenti proposti

Offre allo studente, a seconda dell’argomento affrontato, la possibilità di acquisire competenze relativamente a

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28Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Front-end analogico della cella (SDR0)

Preamplifier Discriminator

22T

14T

iF

CF Vt

Preamplifier response to an 800 e- pulse

Smaller area than in the Apsel prototypes smaller detector capacitance

ENC=25 e- rms@CD=100 fF

Power consumption: about 5 μW

Threshold dispersion: about 30 e- rms

Features power-down capabilities for power saving

-0.02

0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0 5 10 15 20 25 30

iF=3 nA

iF=5 nA

iF=10 nA

iF=15 nA

Pre

amp

lifie

r o

utp

ut

[V

]

t [s]

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29Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

Sezione digitale della cella (SDR0)

OE

OEb

t1

t2

t3

t4

t5

t5in

t4in

t3in

t2in

t1in

CPb

CP

DQ

Qb

WE

hit

hitb

tokin

tokrsttokout

getb_enQ

QbLat_en

R

S

token passing

core

Get X bus

From the time stamp counter

To the time stamp buffer

Cell C

K

Get Y bus

Master Reset

time stamp

register

4T

10T 13T 20T

76T

From the discriminator

Cell C

K

hit latch bus control

FF

Includes a 5 bit time stamp register and the data sparsification logic

During the bunch train period, the hit latch is set in each pixel that is hit

When the pixel is hit, the content of the time stamp register gets frozen

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30Proposte di tesi presso il Laboratorio di Strumentazione Elettronica

X=1 X=16

Y=1

Y=2

Y=16

X=2Time Stamp

Buffer 1

Time Stamp

Buffer 2

Time Stamp

Buffer 16

Cell (1,1)

Cell (1,2)

Cell (1,16)

Cell (2,1)

Cell (2,2)

Cell (2,16)

Cell (16,1)

Cell (16,2)

Cell (16,16)

5 5 5

5554 4 4

4

4

4

4

45

MUX

Last token out

First token in

X

Y

T

Tkin Tkout

1 1 1

TkoutTkin

Tkin Tkout TkinTkout

TkoutTkin TkoutTkin

TkoutTkin TkoutTkin TkoutTkin

TS TS TS

1

1

1

Serial data output

gXb

gYb

TS TS TS

TS TS TS

Readout CK

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

gXb

gYb

Cell CK

gXb=get_X_bus

gYb=get_Y_bus

TS=Time_Stamp

Tkin=token_in

Tkout=Token_out

Schema di readout digitale (SDR)