低真空ポンプ

低真空ポンプ

ドライポンプの省エネに貢献 ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能（例）到達圧力運転時最大59%。チャンバー繰り返し排気時34%削減　　（LR3601-R当社比）　*1 *2 *3

ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため空調機器の電力も削減

容積移送型ドライポンプで効果を発揮　*4 1000Pa以下の連続運転時間が長い用途で効果大

全圧力領域で排気速度の低下なし 本機を取り付けたドライポンプの回転数制御等は必要ないため、 排気速度の低下がありません

取り付けが簡単 オプションのバルブユニットを取り付けることで設置が可能　*5 *6

特 長

ECO-SHOCK は、ドライポンプに取り付けることによって消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。ES4A は、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途やターボ分子ポンプのバックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電力削減に最適です。

ドライポンプの省エネ対策 仕込取出し室のような頻繁に繰り返し排気するドライポンプシールガス量の多いドライポンプ大気圧近傍の排気速度が大きなドライポンプ （例） 当社製LR180,LR421,LR3600,LR3601,LR3601-Rおよび相当品

*1　300Lチャンバーの繰り返し排気、60秒タクトでの測定例 *2　 可燃性、支燃性、有毒ガス等の排気、および固形物や液体を吸引する用途にはご使用

いただけませんのでご注意ください。 *3　取り付け機種や使用条件により消費電力削減率は異なります。 *4　 排気口（吐出口）を真空にしても問題なく運転できるドライポンプに適用が可能です。

排気口（吐出口）を真空にできないドライポンプには取り付けないでください。 *5　ドライポンプの機種や構造により、取り付け方法が異なります。　 　　　　　　　　（LR3600,LR3601（-R）では一部ポンプの改造が必要です）

*6　 設置環境により一部改造などが必要な場合があります。　　　　 　 　　　　　　最寄りのアルバックテクノ㈱CSセンターにて現地取り付け工事を受け賜ります。

特許登録済（日本、中国、台湾、韓国、シンガポール）

用 途

ドライポンプ省電力化アタッチメント【ECO-SHOCK ES4A】

■東日本営業統括部■西日本営業統括部

■規格品事業部

国内販売：　アルバック販売株式会社

海外販売：　株式会社アルバック

TEL 03-5218-6011（代）TEL 06-6397-2281（代）

TEL +81-467-89-2261

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

1049J/2015073000SP

当社ポンプ型式 LR1800 LR3601-R排気速度 *7

メカニカルブースターポンプ 1784㎥/hr（29700L/min） 3200㎥/hr(53333L/min）ドライポンプ 237㎥/hr（3950L/min） 440㎥/hr(7333L/min）

平均消費電力 *8 *9

到達圧力運転時 なし 6.0kW 7.8kWES4A付属時 2.7kW 3.2kW 削減率 55％ 59％

繰り返し排気時　　　　 *10

なし 7.2kW 9.6kWES4A付属時 5.7kW 6.3kW削減率 21％ 34％

*7 電源周波数60Hz　*8 シールガス5SLM　*9 ECO-SHOCK ES4Aの消費電力を含む*10 300Lチャンバ繰り返し排気60秒タクトでの測定例

ドライポンプ省電力化アタッチメント【ECO-SHOCK ES4A】

型式 ES4A電源 仕様 単相　 AC200 ～220V±5% 50/60Hz

最大消費電力 400W制御 入力 遠隔起動/停止（接点 DC24V有電圧）　接点容量2.0A以上の無電圧接点を準備ください

* 手動で起動/停止する場合は制御コネクタのPINをジャンパーすることによりサーキットプロテクタのON/OFFで可能出力 ①起動確認　②省エネ確認　③本体アラーム　④過電流アラーム表示 運転時間、出力①～④の状態を表示

接続ポート Φ16mmチューブコネクタ　　* チューブは1.5m以内を推奨します外形寸法 250mmx475mmx373mm 質量 32kg標準付属品 電源コネクタ、制御用コネクタ、接続用チューブ3m 1本、取扱説明書オプション KF40バルブユニット

KF50バルブユニットLR3600/3601(-R)専用バルブユニット耐震ブラケット

仕 様

外 形 寸 法 図

KF50バルブユニット KF40バルブユニット

LR3600/3601(-R) 専用バルブユニット

単位：mm 単位：mm

年間 28,908kWh削減100,000

■ LR3601-R ■ LR3601-R with ES4A

90,000

80,000

70,000

60,000

50,000

40,000

30,000

20,000

10,000

　　　　　　　　　　　　　0

年間電力量（kWh）

効 果 例

【ES4A】 【オプション】