Sistemi di pompaggio
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Pompe
• Caratteristiche pompePressione di innesco
Pressione operativap
Pressione limite
Velocità di pompaggio S=S(p)Velocità di pompaggio S=S(p)
Pressione di uscita (outlet –exaust)
Rapporto di compressione (K=Pout/Pin) K=K(p) riportato come K0 per Q=0(ideale).
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Sistemi di pompaggio grezzo
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Pompe rotative ad olio
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Sistemi ad olioSenza ballast Con
316 mbar@ 70 °C
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Pompe a monostadio
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Pompe ad olio a doppio stadio
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Pompe a seccoscrollscroll
INLETOUTLET
• Pompa a trasferimento di gas che utilizza il moto rototraslatorio di una
INLETGAS chiocciola di profilo
particolare per muovere il gas
12 3
7
FIXED SCROLL
gas
• Vuoto finale misurato con Pirani : 0,01 mbar
4
56
7 • Applicazioni Oil free.
• Hanno una capacità limitata nel pompare vapori o gas
ORBITING SCROLL
nel pompare vapori o gas chimici dato che non sopportano liquidi
• Non sono adatte ad utilizziMovement of gas in a scroll mechanism
• Non sono adatte ad utilizzi industriali eccetto per le “load lock”.
M t i d 8 000
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Manutenzione dopo 8.000 ore
Pompe a secco scroll
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Pompe a secco a membrane
• Pompa a trasferimento di gas che utilizza il moto oscillante di un diaframma per muovere il gas. p g
• Vuoto ultimo misurato con Piezoresistivo nei modelli a più stadi : 1 mbarpiù stadi : 1 mbar
• Pompa oil free. Resiste a molti processi chimici di laboratorio
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Pompe a secco a pistoni
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Manutenzione dopo 20.000 h
Pompa Roots
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Pompe da UHV
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Pompe turbo molecolari
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Velocità di pompaggio di una turbo
TurboVac 151
Gas S N2 145Ar 150Ar 150He 135H2 115
Ultimate P<1x10-10 mbarP 4 10 4 mbarPin max 4x10-4 mbarP out max 5x10-1 mbar
Al di sotto di questo valore di pressione posso Assumere una S costante per tutti i tipi di gas
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Assumere una S costante, per tutti i tipi di gas.
Rapporto di compressione per le turbo
MK ∝ MK ∝0
Una pompa turbo comprime bene le molecole più
pesanti.(OLIO)( )
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Pompe turbo ed a sospensione magnetica
T b V 1600 T b M W1300S• TurboVac 1600 Turbo Mag W1300SS
N2 1100 1100H2 690 920
K0N 2 5 105 1.5 108
H 2 2 102
Pu < 3 10-10 mbar 1 10-10 mbar Pout (N2)< 0.5 mbar <0.2 mbar (air)
<2.0 mbar (water cool.)
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( )
Pompe a sublimazione di Titano
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Pompe Ioniche
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Pompe ioniche
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Criopompe
• Si basa sul principio di criocondensazionecriocondensazione,
Crioassorbimento e criointrappolamento.
Al diminiuire della T
diminuisce Pv
H2O, CO2 @ 77 K, 10-9 mbar
CH4O2N2 @ 20 K =
He, Ne, @ 4 K =
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