G. Sansoni: Misure Ottiche-Interferometri-3 Interferometro di Michelson Layout ottico.

G. Sansoni: Misure Ottiche-Interferometri-3

Interferometro di MichelsonLayout ottico


Interferometro di Michelson (2)

• Interferenza distruttiva per

02 mcosd m


Come si muovono le frange(M1 parallelo M2)

Frange di Haidinger


Come si muovono le frange(M1 parallelo M2)

Intensità al fotodiodo


Come si muovono le frange(M1 non parallelo a M2)

Frange di Fizeau


Come si muovono le frange(M1 non parallelo M2)

Intensità al fotodiodo


Cui prodest?

02 mcosd m

02 md

20md

dm=4,803432mm

d=4,803511mm

d=4,803592mm

d=4,803669mm

dm+1=4,803749mm

20Nd


Interferometro di Twyman-Green (1)

• Controllo di difettosità delle lenti


Interferometro di Twyman-green (2)

• Controllo di superfici ottiche (specchi, prismi..)


Possibili difettosità delle lenti

Aberrazione sferica

Distorsione Curvatura

AstigmatismoComa


In commercio

• Interfire 10.6


Panoramica generale

1,E-12

1,E-11

1,E-10

1,E-09

1,E-08

1,E-07

1,E-06

1,E-05

1,E-04

1,E-03

1,E-02

1,E-01

1,E-08 1,E-07 1,E-06 1,E-05 1,E-04 1,E-03 1,E-02 1,E-01 1,E+00 1,E+01 1,E+02 1,E+03

Range di misura [m]

Ris

olu

zio

ne

di

mis

ura

[m

]

Interferometri per taratura Interferometri per profilometria VibrometriAutofocus Scatterometri Micrometri otticiTriangolatori SP - Laser Triangolatori SP - Led Triangolatori MPTriangolatori a campo intero Telemetri

Controllo di finitura

Microprofilometria

Controllo dimensionale

Macroprofilometria

Telemetria

Taratura

Vibrometria, NDT


Interferometro di Mach- Zehnder

sorgente

detectorspecchio

Specchio semiriflettente


Complicazioni e sviluppi

• Rivelazione ad eterodina• Effetto Doppler• Misura di velocità• Misura di vibrazione• Misura di profili (Profilometro MP2000)

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