SEM Scanning Electron Microscope
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04-Feb-2016Category
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SEM Scanning Electron Microscope. 1 mm. 500 µm. 1 µm. 100 nm. 10 Å. cristallo. plancton. virus. atomi. batterio. AFM. TEM. SEM. microscopio ottico. Microscopio elettronico in scansione. FEG (Field Emission Gun). 100 V - 30 kV Risoluzione: 1.5 nm a 20 kV - PowerPoint PPT Presentation
Transcript of SEM Scanning Electron Microscope
SEM Scanning Electron Microscope
AFMTEMSEMmicroscopio ottico
Microscopio elettronico in scansione
FEG (Field Emission Gun)100 V - 30 kV Risoluzione: 1.5 nm a 20 kVIngrandimenti fino a 500000
Filamento di tungstenoFilamento di LaB6FEG
Microscopi elettroniciUtilizzano un fascio incidente di elettroni che interagisce con il campione SEMTEM
Segnali ottenutiElettroni secondari: urti anelastici Elettroni retrodiffusi: urti elastici
Il coefficiente di retrodiffusione cambia in funzione del numero atomico (Z) e dellenergia del fascio incidente (Ei)Elettroni retrodiffusiSubiscono urti elasticielastici e anelasticiGli elettroni retrodiffusi danno informazioni soprattutto sulla COMPOSIZIONE del campione e, in minor misura, sulla morfologia del campione
Elettroni secondari generati da elettroni primari e retrodiffusi prodotti in seguito a urti anelastici emergono da profondit inferiori a 10 nmGli elettroni secondari danno informazioni soprattutto sulla MORFOLOGIA del campione e, in minor misura, sulla composizione del campione
Confronto fra il coefficiente di retrodiffusione () e il coefficiente di emissione degli elettroni secondari ()
informazioni sulla composizione del campioneelettroni retrodiffusielettroni secondari informazioni sulla morfologia del campione
Distribuzione spaziale degli elettroni nel campione
Profondit di penetrazioneElettroni retrodiffusiAl0.7 mAu0.07 m
Elettroni secondariAl50 nmAu5 nm
Raggi XAl2 mAu0.2 mFascio incidente = 20 kV
ESEM (Environmental SEM)SEM VP (SEM Variable Pressure)BEATLE
20 melettroni secondari
elettroni secondari
elettroni secondari
