SEM Scanning Electron Microscope

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    04-Feb-2016
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SEM Scanning Electron Microscope. 1 mm. 500 µm. 1 µm. 100 nm. 10 Å. cristallo. plancton. virus. atomi. batterio. AFM. TEM. SEM. microscopio ottico. Microscopio elettronico in scansione. FEG (Field Emission Gun). 100 V - 30 kV Risoluzione: 1.5 nm a 20 kV - PowerPoint PPT Presentation

Transcript of SEM Scanning Electron Microscope

  • SEM Scanning Electron Microscope

  • AFMTEMSEMmicroscopio ottico

  • Microscopio elettronico in scansione

  • FEG (Field Emission Gun)100 V - 30 kV Risoluzione: 1.5 nm a 20 kVIngrandimenti fino a 500000

  • Filamento di tungstenoFilamento di LaB6FEG

  • Microscopi elettroniciUtilizzano un fascio incidente di elettroni che interagisce con il campione SEMTEM

  • Segnali ottenutiElettroni secondari: urti anelastici Elettroni retrodiffusi: urti elastici

  • Il coefficiente di retrodiffusione cambia in funzione del numero atomico (Z) e dellenergia del fascio incidente (Ei)Elettroni retrodiffusiSubiscono urti elasticielastici e anelasticiGli elettroni retrodiffusi danno informazioni soprattutto sulla COMPOSIZIONE del campione e, in minor misura, sulla morfologia del campione

  • Elettroni secondari generati da elettroni primari e retrodiffusi prodotti in seguito a urti anelastici emergono da profondit inferiori a 10 nmGli elettroni secondari danno informazioni soprattutto sulla MORFOLOGIA del campione e, in minor misura, sulla composizione del campione

  • Confronto fra il coefficiente di retrodiffusione () e il coefficiente di emissione degli elettroni secondari ()

  • informazioni sulla composizione del campioneelettroni retrodiffusielettroni secondari informazioni sulla morfologia del campione

  • Distribuzione spaziale degli elettroni nel campione

  • Profondit di penetrazioneElettroni retrodiffusiAl0.7 mAu0.07 m

    Elettroni secondariAl50 nmAu5 nm

    Raggi XAl2 mAu0.2 mFascio incidente = 20 kV

  • ESEM (Environmental SEM)SEM VP (SEM Variable Pressure)BEATLE

  • 20 melettroni secondari

  • elettroni secondari

  • elettroni secondari