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LED ad alta efficienza Docente: Mauro Mosca (www.dieet.unipa.it/tfl) Ricevimento: alla fine della lezione o per appuntamento Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DE A.A. 2014-15

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LED ad alta efficienza

Docente: Mauro Mosca

(www.dieet.unipa.it/tfl)

Ricevimento: alla fine della lezione o per appuntamento

Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DEIM)

A.A. 2014-15

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Difficile ottenere alta efficienza?

- regione attiva larga

- portatori non localizzati

- velocità di ricombinazione radiativa proporzionale a concentrazione di portatori: R = Bnp

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Doppia eterostruttura

(a) (b)

Distribuzione di cariche libere (a) in un’omogiunzione e (b) in un’eterogiunzione in polarizzazione diretta. Nell’omogiunzione le

cariche sono distribuite su una distanza pari alla lunghezza di diffusione, mentre nell’eterogiunzione queste sono confinate all’interno

della regione a bandgap più stretta avente lunghezza pari a WDH

(a) (b)

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Quantum-well

(a) (b)

Livello di Fermi (EFn) e livello intra-banda (E0) (a) in una doppia eterostruttura e (b) in una struttura a quantum well in condizioni

d’iniezione ad alto livello

- aumenta localizzazione

- diminuisce autoassorbimento (regione attiva sottile)

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Eterostrutture a confinamento separato

(a) (b)

Struttura a bande per due eterostrutture a confinamento separato: (a) SCH standard e (b) GRINSCH. Il campo elettrico (fotoni) è confinato dalla struttura

ad indice graduale, mentre i quantum well confinano gli elettroni

In una doppia eterostruttura la regione a bandgap più stretto di solito ha anche un più alto indice di rifrazione

anche i fotoni sono confinati!!

cariche confinate fotoni confinati

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Perdita di cariche

Cattura e perdita di cariche in una doppia eterostruttura. Si noti la distribuzione di energia delle cariche libere nella regione attiva

saturazione intensità ottica

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Perdita di cariche

Intensità ottica emessa da un LED in In0,16Ga0,84As/GaAs con regioni attive consistenti in 1, 4, 6 e 8 quantum well e intensità teorica di una

sorgente isotropa perfetta (in linea tratteggiata)

overflow dicariche

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Meccanismi radiativi e non radiativi

lRRGdt

dn

lRRR

R

nrrad

radrad

2rad BnBnpR 3

nr CnAnR

lRAnBn

Bn

2

2

rad

deep levels Auger

ricombinazione superficiale

ricombinazione radiativa

perdita di cariche

trascurabile inLED InGaAs/GaAs

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L’estrazione della luce:cono di emissione luminosa

shreflabsextr ηextr ≈ γrefl

extextintint sinsin nn

int

extarcsinn

nc

)cos1(2 c c

- problema del riassorbimento

- problema della riflessione all’interfaccia aria-semiconduttore

- ombra del contatto superiore (“shadowing”)

fattore diassorbimento

fattore diriflessione

fattore dishadowing

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L’estrazione della luce:cono di emissione luminosa

Per θint ≤ θc iit IRITI )1(

ir IRI

polarizzazione TE (s):

2

extextintint

extextintint

coscos

coscos

nn

nnR

2

extint

extint0

nn

nnR (θi = 0)

)1(4

)cos1(20

creflextr R

per emissione isotropica e R ~ R0

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Tab. 1 – Efficienze di estrazione per un’interfaccia GaAs-aria a 650 nm e 970 nm

Tab. 2 – Efficienze di estrazione per un’interfaccia GaAs-epoxy a 650 nm e 970 nm

L’estrazione della luce:cono di emissione luminosa

angolo critico maggiore in presenza di epoxy (minore differenza d’indice)

grande angolo critico epoxy-aria (indice epoxy prossimo a quello dell’aria)

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Ottimizzazione delle geometrie

Illustrazione schematica dei coni di estrazione luminosa per diverse geometrie di LED(basate sulla geometria standard di parallelepipedo a base rettangolare):(a) substrato assorbente con strato finestra sottile; (b) substrato assorbente con strato finestra spesso; (c) substrato trasparente con strato finestra spesso.

regione attiva vicino la

superficie

substratoassorbente

efficienza aumenta diun fattore ?3

efficienza aumenta diun fattore 6

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Ottimizzazione delle geometrie

Aumento dell’efficienza di estrazione tramite finestra superiore spessa e substrato trasparente

(a)

(b) (c)

Sezione trasversale di alcune geometrie ideali per LED: (a) sfera con sorgente puntiforme, (b) semisfera, (c) tronco di cono

= (/ 2 – c) / 2

problema del mean photon path length for extraction

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Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza

Evoluzione dei miglioramenti dell’efficienza quantica esterna per LED in AlGaInP. Il valore di ext è calcolato considerando il LED immerso in una cupola di epoxy

Anno Design ext (%)

1990 DH su substrato in GaAs ≈ 2

1992 finestra spessa in GaP ≥ 6

1994 substrato trasparente in GaP 17,6

1996 idem 23,7

1999 idem + MQW 32,0

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(a) LED in AlGaInP con una finestra spessa in GaP e un substrato assorbente in GaAs. (b) LED in AlGaInP con una finestra spessa in GaP e un substrato trasparente in GaP

Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza

(a) (b)

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Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza:geometrie TIP

Dispositivi a geometria TIP: (a) LED blu in InGaN su substrato in SiC, commercializzato con il nome di “Aton”; (b) Schema del percorso dei raggi nel LED (a). (c) LED in AlGaInP/GaP; (d) Schema del percorso dei raggi nel LED (c)

55%

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Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza:LED a film sottile

a) LED con specchio riflettente

b) LED a superficie rugosa

incollato su specchio dielettricorivestito in oro

lift-off epitassiale

alta selettività di etching delle leghe di AlGaAs in acido fluoridrico

73%

photon recyclingetching GaN

natural lithography

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Tecniche per ottenere LED ad alta efficienza:LED a film sottile

c) LED a microriflettore sepolto (BMR)

d) LED rastremati

c

deve essere c

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LED rastremato: photoresist reflow

(a)

(b)