高真空アングルバルブシリーズFlange types NW-KF flange Con flat flange* JIS (VG/VF)...

高真空アングルバルブシリーズ

c

概　要

特　徴

まえがき／Introduction

ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般ＪＩＳ真空フランジ付きの3種類の接続形式に、手動及び自動(空操式)をシリーズ化しました。また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LXシリーズ（100万回仕様）も新しく規格品として用意しました。

2

OVERVIEW

FEATURES

IRIE KOKEN's high vacuum angle valves are long-life vacuum valves with built-in formed or welded bellows. The valves off your choice of three flanges for connection: the user-friendly NW-KF flange that conforms to ISO standards, con flat flange that can be used for handling ultra-high vacuums or toxic gases, or common vacuum flange that conforms to JIS. The series also offers both manual and automatic (pneumatic) models.The LX Series (guaranteed life of 1 million repetitions) has also been added as a standard product to extend time until next maintenance is required.

1. The vacuum side of the valve is of all stainless steel (SUS) construction.2. Compact design enables small size and lightweight construction.3. Will not leak at pressure differential of 0.15 MPa regardless of whether pressure is positive or negative.4. Mounting posture is unrestricted. (Unless otherwise specified, we recommend mounting posture with the valve seat facing the side with greater pressure variation.)5. Functional design offers maximum conductance.6. One-way rotating flange facilitates mounting. (con flat flange)

バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れません。取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。）機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。片側回転フランジのため、取付けが容易。(コンフラットフランジ)

１.２.３. ４. ５. ６.

3

HIGH VACUUM ANGLE VALVE SERIES

型式表示方法／ORDERING NUMBER DESCRIPTION

FLV

記号

無記入

L X

記　号

1

2

3

寿命回数

１０万回　※１

１００万回 ※２

Symbol

No entry

Repetition life

100,000 repetitions (*1)

1 million repetitions (*2)

※1：手動型は5万回※2：LXシリーズに手動型は含みません。*1: 50,000 repetitions for manual type.*2: LX Series does not include a manual type.

フランジ種類

NW-KFフランジ

コンフラットフランジ※

JIS(VG,VF)フランジ

Flange types

NW-KF flange

Con flat flange*

JIS (VG/VF) flange

記　号

D

C

O

M

型　式

自動型、複動

自動型、単動(ノーマルクローズ)

自動型、単動(ノーマルオープン)

手動型

Type

Automatic, double-acting

Automatic, single-acting (normally closed)

Automatic, single-acting (normally open)

Manual

記　号

0

1

2

3

付属品

付属品なし

電磁弁､近接スイッチ付き

電磁弁付き

近接スイッチ付き

Accessories

None

With solenoid valve, proximity switch

With solenoid valve

With proximity switch

記　号

16

25

40

50

63(65)

70

114

フランジ種類

●NW-KFフランジ

●JISフランジ

コンフラットフランジ

※片側固定、片側回転* One-side stationary, one-side rotating

注1)　電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.

アングルバルブの記号Angle valve symbol

Flange types

●NW-KF flange

●JIS (VG/VF) flange

Con flat flange

高真空アングルバルブ(16A～63A)High vacuum angle valves (16A to 63A)

Symbol Symbol

Symbol

Symbol

4

■仕　様／Specifications

■技術データー／Technical data

コンダクタンスConductance

口径Bore

使用圧力

リーク量

寿命回数

操作圧力

ベークアウト温度（耐熱温度）

主要構成材料

Working pressure

Leak volume

Repetition life

Operating pressure

Bake-out temperature (heat endurance limit)

Main materials

大気圧～ 1×10-6 Pa

＜1×10-10 Pa･m3/s

□FLV(自動)　10万回

□FLV(手動)　 5万回

LX-□FLV(自動)　100万回

0.5～0.6MPa（自動）

バルブボディ　120℃（MAX）

ニューマチックアクチュエータ　65℃（MAX）

電磁弁付きの場合　50℃（MAX）

バルブボディ：SUS304

ベローズ：SUS316L(□FLV)

　　　　：ハステロイ® C-22(LX-□FLV)シリンダ：アルミニウム

弁座シール：バイトン®ボンネットシール：バイトン®

Atmospheric temperature to 1 x 10(-6) Pa

Below 1 x 10(-10) Pa・m3/s

FLV (automatic) 100,000 repetitions

FLV (manual) 50,000 repetitions

LX- FLV (automatic) 1 million repetitions

0.5 to 0.6 MPa (automatic)

Valve body 120℃（MAX）

Pneumatic actuator 65℃（MAX）

In the case of those with solenoid valve50℃（MAX）

Valve body:SUS304

Bellows:SUS316L(□FLV)

: Hastelloy® C-22(LX-□FLV)

Cylinder: Aluminum

Valve seat seal: Viton®Bonnet seal: Viton®

シリンダCylinder

ボンネットシールBonnet seal

べローズ（成形）Bellows (formed)

バルブボディValve body

弁座シールValve seat seal

5

（LX）1FLV〃〃〃〃

（LX）2FLV〃

（LX）3FLV〃〃〃

A132.5141.5168186.5229173201.5151.5173199.5241

B93101.5117.5128.5163.5122.5143.5111.5122.5141.5175.5

C475981921108192598192110

D506284.59211084.5926284.592110

E22.524.5333945.5333924.5333945.5

F40506570887085607083100

　H405476891107689547689110

　J3040557587 69.3113.590105120145

K-----58.792.27085100120

N-　h-----6-6.68-8.54-104-104-104-12

Weight(kg)0.71.12.13.38.42.55.21.83.24.59.8

16D.C.O25D.C.O40D.C.O50D.C.O63D.C.O70D.C.O114D.C.O25D.C.O40D.C.O50D.C.O65D.C.O

■WITH NW-KF FLANGES1FLV SERIES　LX-1FLV SERIES

■WITH CF FLANGES2FLV SERIES　LX-2FLV SERIES

■WITH JIS FLANGES3FLV SERIES　LX-3FLV SERIES

■外観図／Schematic diagram

■寸法表／Table of dimenesions(自動型：複動D,単動C[ノーマルクローズ],単動O[ノーマルオープン])Automatic: Double acting [D], single-acting [C] (normally closed), single-acting [O] (normally open)

Model No.Dimensions

自　動 (複動･単動[ノーマルオープン･クローズ])Automatic (single-acting/double-acting [normally open/closed])

A

E

BφH φJ

φJ

N-φh

F

F

（D.Oに使用）Used for D,O　Rc1/8

K

N-φh

KA

E

BφH φJ

φJ

N-φh

F

F

（D.Oに使用）Used for D,O　Rc1/8

K

N-φh

K

D

C

A

E

BφH φJ

φJ

F

F

（D.Oに使用）Used for D,O　Rc1/8 （D.Cに

　使用）　Rc1/8　Used for　D,C

（D.Cに　使用）　Rc1/8　Used for　D,C

（D.Cに　使用）　Rc1/8　Used for　D,C

-----------

回転フランジRotatingflange

　JISB 2290 VG　JISB 2290 VF※フランジ穴は　振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.


※フランジ穴は　振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.

6

1FLV〃〃〃〃2FLV〃3FLV〃〃〃

A124.5136163176.5204.5168191.5146168189.5216.5

B475981921108192598192110

　H405476891107689547689110

　D4343606060606043606060

E6815202515208152025

F40506570887085607083100

　J3040557587 69.3113.590105120145

K_____58.792.27085100120

N-　h_____6-6.68-8.54-104-104-104-12

0.61.01.62.56.62.14.41.62.73.88.0

16M25M40M50M63M70M114M25M40M50M65M

■WITH NW-KF FLANGES1FLV SERIES

■WITH CF FLANGES2FLV SERIES

■WITH JIS FLANGES3FLV SERIES

Model No.Dimensions

手　動／Manual

B

B

E

AφH

φD

φJ

φJ

F

F

φJ

φJ

N-φh

F

F

K

N-φh

K

E

AφH

φD

φJ

φJ

N-φh

F

F

K

N-φh

K

E

A φH

φD

-----------

JISB 2290VGJISB 2290VF


Weight(kg)


■寸法表／Table of dimensions（手動型：M／Manual: M）


回転フランジRotating flange

7


LV

記　号

80

100

152

203

口　径（呼び径）

NW-KFフランジ

JISフランジ


片側固定、片側回転※印は受注生産となります。* Indicates production by special order.

※開閉検知用センサー　D：自動型にはリードスイッチが　標準装着となります。*Sensor for detecting open/closed　　D: Automatic type is equipped　　　with lead switch as sta

注1)　電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。Note 1）Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.


高真空アングルバルブ(80A～100A)High vacuum angle valves (80A to 100A)

NW-KF flange

JIS flange

Con flat flange*

One-side stationary/rotating

記　号

1

※2

※3

フランジ種類

NW-KFフランジ


JIS(VG,VF)フランジ

Flange types

NW-KF flange

Con flat flange*

JIS (VG/VF) flange*

アングルバルブの記号Angle valve symbol

記　号

D

M

型　式

自動型、複動

手動型

Type


Manual

Symbol Symbol

Symbol

Bore (nominal diameter)

8

使用圧力

リーク量

寿命回数

操作圧力


主要構成材料

付属品

大気圧～ 1×10-6 Pa

＜1×10-10 Pa･m3/s

自動：20万回　手動：5万回

(注)特注品にて　100万回対応も可

0.4～0.7MPa




ベローズ：SUS316L

その他：アルミニウム

弁座シール：バイトン

ボンネットシール：バイトン®近接スイッチ(自動)

型式　PD11L1

使用電圧　AC110V,DC24V

使用電流　AC5～20mA,DC5～40mA

Atmospheric temperature to 1 x 10-6 Pa



Valve body: SUS304

Bellows: SUS316L

Cylinder: Aluminum

Valve seat seal: Viton®Bonnet seal: Viton®

茶Brown

青Blue

発光ダイオード（赤）LED (red)

ダイオード Diode




べローズ（溶接）Bellows (welded)


■仕　様／Specifications

■技術データー／Technical data

Working pressure

Leak volume

Repetition life

Operating pressure


Main materials

Accessories

口径Bore


Automatic: 200,000 repetitionsManual: 50,000 repetitions(Note): Guaranteed life of 1 million repetitions is available by special order.

Proximity switch (automatic)

Type PD11L1

Working voltage 110 ACV, 24 DCV

Working current 5 to 20 ACmA, 5 to 40 DCmA

®

9

1LV- 80D1LV-100D

A253299.5

B147173

C105120

D90100

　E155185

F84104

　G114134

■寸法表／Table of dimenesions

Model No.Dimensions

6.910.5

1LV- 80M1LV-100M

A217243

B147173

C105120

D90100

　E155185

　F125140

　G114134

H3850

Model No.Dimensions

5.48.2

●手動型：M／Manual: M

手動 Manual

●自動型／複動：D／Automatic / double-acting: D

自動／複動 Automatic/double-acting


A

FφE

B

φG

φG

D

C

８０Ａ：２－Ｒｃ１／４１００Ａ：２－Ｒｃ３／８

A

φF φE

BφG

φG

D

C

H


Weight(kg)

Weight(kg)

10


■寸法表／Table of dimenesions

2LV-152D2LV-203D

A253304.5

B147178

C105130

D90105

　E155185

F84104

　G151.6202.4

Model No.Dimensions 　K

130.3181.1

N-M81620

7.713.0

2LV-152M2LV-203M

A217248

B147178

C105130

D90100

　E155185

　F125140

　G151.6202.4

Model No.Dimensions H

3850

　K130.3181.1

N-M81620

6.210.7

●自動型：複動D／Automatic: Double acting D

3LV- 80D3LV-100D

A253299.5

B147173

C105120

D90100

　E155185

F 84104

　G160185

Model No.Dimensions 　K

135160

N-　h4-128-12

7.210.6

●自動型：複動D／Automatic: Double acting D

●手動型：M／Manual : M

3LV- 80M3LV-100M

A217243

B147173

C105120

D90100

　E155185

　F125140

　G160185

Model No.Dimensions H

3850

　K135160

N-　h4-128-12

5.78.3


A

FφE

B

φG

φG

D

C

N-M8

φKA

φFφE

B

φG

φG

D

C

H

N-M8

φK

A

FφE

B

φG

φG

D

C

N-φh

φKA

φFφE

B

φG

φG

D

C

N-φh

φK

H

■2LV-152D／2LV-203D ■2LV-152M／2LV-203M

■3LV-80D／3LV-100D ■3LV-80M／3LV-100M



　 JIS B 2290VG　　 JIS B 2290VF※フランジ穴は　振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.

　 JIS B 2290VG　　 JIS B 2290VF※フランジ穴は　振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.

Weight(kg)

Weight(kg)

Weight(kg)

Weight(kg)

８０Ａ：２－Ｒｃ１／４１００Ａ：２－Ｒｃ３／８

８０Ａ：２－Ｒｃ１／４１００Ａ：２－Ｒｃ３／８

高真空ストレートバルブ(16A～63A)High vacuum straight valves (16A to 63A)

11



FSV

注1)電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.

ストレートバルブの記号Straight valve symbol

記号

無記入

L X

寿命回数

１０万回　※１

１００万回 ※２

Symbol

No entry

Repetition life

100,000 repetitions (*1)

1 million repetitions (*2)

※1：手動型は5万回※2：LXシリーズに手動型は含みません。*1: 50,000 repetitions for manual type.*2: LX Series does not include a manual type.

記　号

1

フランジ種類

NW-KFフランジFlange types

NW-KF flange

記　号

D

C

O

M

型　式

自動型、複動

自動型、単動(ノーマルクローズ)

自動型、単動(ノーマルオープン)

手動型

Type


Automatic, single-acting (normally closed)

Automatic, single-acting (normally open)

Manual

記　号

0

1

2

3

付属品

付属品なし

電磁弁､近接スイッチ付き

電磁弁付き

近接スイッチ付き

Accessories

None

With solenoid valve, proximity switch

With solenoid valve

With proximity switch

記　号

16

25

40

50

63

フランジ種類

●NW-KFフランジ

Flange types

●NW-KF flange

Symbol

Symbol Symbol Symbol


12

■仕　様／Specifications使用圧力

リーク量

寿命回数

操作圧力


主要構成材料

大気圧～ 1×10-6 Pa

　＜1×10-10 Pa･m3/s

1FSV(自動)　10万回

1FSV(手動)　 5万回

LX-1FSV(自動)　100万回

0.5～0.6MPa(自動)



電磁弁付きの場合　50℃


ベローズ：SUS316L(1FSV)

　　　　：ハステロイ® C-22(LX-1FSV)

シリンダ：アルミニウム

弁座シール：バイトン® ボンネットシール：バイトン®

■技術データー／Technical data口径Bore



べローズ（成形）Bellows (formed)


Working pressure

Leak volume

Repetition life

Operating pressure


Main materials

Atmospheric temperature to 1 x 10-6 Pa

Below 1 x 10-10Pa・m3/s

FLV (automatic) 100,000 repetitions

FLV (manual) 50,000 repetitions

LX- FLV (automatic) 1 million repetitions

0.5 to 0.6 MPa (automatic)



In the case of those with solenoid valve50℃

Valve body:SUS304

Bellows:SUS316L(□FLV)

　　　　: Hastelloy ® C-22(LX-□FLV)

Cylinder: Aluminum

Valve seat seal: Viton® Bonnet seal: Viton®


13


（LX）1FSV〃〃〃〃

A110.5116135159196.5

B47598192110

C506284.592110

D80100130160190

E4948.559.56774.5

　F3040557587

　G2027.242.760.576.3

　H40547689.1110

0.71.22.23.59.0

16D.C.O25D.C.O40D.C.O50D.C.O63D.C.O

-----


■寸法表／Table of dimensions

Model No.Dimensions

●自動型：複動D,単動C[ノーマルクローズ],単動O[ノーマルオープン])Automatic: Double acting [D], single-acting [C] (normally closed), single-acting [O] (normally open)


1FSV〃〃〃〃

A102.5110.5130149171

B47598192110

　C4343606060

D80100130160190

E68152020

　F3040557587

　G2027.242.760.576.3

　H40547689.1110

0.61.01.72.87.2

16M25M40M50M63M

-----

Model No.Dimensions

自動／（複動・単動［ノーマルオープン・クローズ］）Automatic/Double acting, single-acting [normally open・normally closed]

手動Manual

B

E

A

φH

φG

φCB

D

φF

45°

EA

φH

φG

D

φF

45°

B

C MADE IN JAPAN

Rc1/8

Weight(kg)

Weight(kg)

14

■オプション／Option　電磁弁仕様Solenoid valve specifications

　近接スイッチ仕様Proximity switch specifications

TOH(CKD)

110V

12/24V

7～20mA

5～50mA

2.4VA

0mA

DC500Vメガーにて20MΩ以上

AC1000V　1分間

294m/s2

－10～＋60℃（但し凍結無し事）

IP67（IEC規格）,JIS C0920（防浸形）耐油発行ダイオード（ON時点灯）

リレー・プログラマブルコンコントローラー

外形寸法図

型式

使用電圧範囲

右記より選択可能

電流値　起動 (mA )

　　　　励磁 (mA )

絶縁抵抗

結線方式

リード線色

LEDインジケータの色

サージ対策

使用圧力範囲

電気回路DC結線要領

(DC12V)

10.8～13.2

-

130

(DC24V)

21.6～26.4

-

65

(AC100V)

90～132

36　 32

24　 20

(AC200V)

180～264

18　 16

12　 10

茶（+）

黒（-）Brown (+)

Black (-)

Red (+)

Black (-)

赤（+）

黒（-）黄

Yellow

黄 Yellow

白White

緑 Green

18.012.5 2-φ2.8

11.0 15.0

34.0

80.7

24.0

AC

DC

AC

DC

負荷電圧

負荷電流

バリスタVariable resistor

電磁弁及び近接スイッチの仕様（16A～63Aへ適用）Solenoid valve and proximity switch specifications (applied for 16A to 63A)

External dimension diagram

Working voltage range

フライホイルダイボードFly wheel die-board

赤 Red

CurrentStart

Excitation

Insulating resistance

Connection type

Lead wire color

LED indicator color

Working pressure range

Electric circuitDC connection scheme

External dimensiondiagram

Model

外形寸法図

型式

内部電圧降下

漏れ電流

絶縁抵抗

絶縁耐圧

耐衝撃

使用温度範囲

保護構造

表示灯

電気回路

適合負荷

Internal voltage drop

insulating resistance

Impact resistance

Electrical circuit

Model

仕　様 Specification 仕　様 Specification

Countermeasures againstsurge current

φ3.4

322.5

茶Brown

青Blue

A110-4EI-PLL.DC24V（標準）

>100MΩ

プラグコネクタ式 Plug connector

0.15MPa～0.7MPa(1.5～7kg/cm2)

-

+発光ダイオードリード線（＋）

DC12V：茶色DC24V：赤色

リード線（－）：黒色


15

（LX）1FV〃〃〃〃

A506284.592110

B7082104.5112130

C71789196.5105.5

D81.781.781.781.781.7

16D.C.O25D.C.O40D.C.O50D.C.O63D.C.O

-----

（LX）2FLV〃

70D.C.O114D.C.O

（LX）3FLV〃〃〃

25D.C.O40D.C.O50D.C.O65D.C.O

----


■寸法表／Table of dimensions

Model No. Dimensions

　近接スイッチ、電磁弁付With proximity switch/solenoid valve

A

B

C

D

近接スイッチProximity switch

電磁弁Solenoid valve

Rc1/8

--

ANGLE VALVE

MADE IN JAPAN

マニホールドManifold

ご注意※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。※Specifications subject to change without notice.

●事業所在地／Office address

販売代理店／Distributor


　各種金属べローズ　溶接べローズ、成形べローズ

　各種真空コンポーネンツ　導入機、高真空バルブ

　各種真空装置　原子力、核融合、加速器関連装置　半導体製造関連装置

Main ProductsIKCの主要製品

W1302

（1）

（2）

（3）

（4）

（5）

ご注意 Cautions

取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。本製品の保証期間は弊社工場出荷後18ヶ月とさせていただきます。保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。下記項目に対しては、保証対象外とさせていただきます。1. 異常な使用方法による故障2. 弊社の合意なく行われた修理や改造等による故障3. 火災、天災等の不可抗力な災害による故障本製品の故障についてのみの責任範囲とさせていただきます。

(1)

(2)

(3)

(4) 1. 2. 3.

(5)

Be sure to note mounting posture when mounting, connec-ting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use the product for use other than it is designed for.These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory.If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge.The following are not covered by the guarantee: Mechanical failure caused by use in manner other than specified. Mechanical failure caused by unauthorized repair or modification. Mechanical failure caused by fire or natural disaster.IRIE KOKEN assumes that the responsibility for mechanical failure covers this product only.

本社

大阪営業所

■ 工　　場

◇Head office

◇Osaka office

〒100-0005 東京都千代田区丸の内3-1-1 国際ビル813　　　　　　TEL：03-3211-7111　FAX：03-3211-7110◇813 Kokusai-bldg. 3-1-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0005〒550-0002 大阪市西区江戸堀1-2-11 大同生命南館　　　　　　TEL：06-6445-2630　FAX：06-6459-3350◇Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場）◇Saitama-ken(Technical Center), Ehime-ken (Uchiko Factory・Nakayama Factory)◇Fac to r y

高真空アングルバルブシリーズFlange types NW-KF flange Con flat flange* JIS (VG/VF)...

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